Energetiq生產(chǎn)的光源具有高可靠性,高性能,高亮度,長(zhǎng)壽命等特點(diǎn)。其產(chǎn)品具有很寬的光譜范圍,譜線包括軟遠(yuǎn)紫外線(EUV),深紫外線(DUV),并覆蓋從可見(jiàn)光到紅外光區(qū)(IR),波長(zhǎng)范圍從170nm到2100nm以上。Energetiq的光源結(jié)構(gòu)緊湊,使用方便,性價(jià)比高的特點(diǎn),寬譜線并帶光纖耦合輸出。
性能特性:
高亮度 — 輸出強(qiáng)度是75W Xe燈的10倍、30W氘燈的100倍以上
高穩(wěn)定性 — 可比擬激光器的功率穩(wěn)定性和空間穩(wěn)定性
寬光譜輸出 — 170nm~2100nm,一個(gè)光源滿足各種常用需求
超長(zhǎng)壽命 — 無(wú)電工作,單個(gè)燈泡壽命9000個(gè)小時(shí),更低維護(hù)成本
更高的耦合效率 — 光斑尺寸<100um,并提供光纖以及自由光輸出選項(xiàng)