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高功率納秒激光器
InnoSlab短脈沖和超短脈沖激光器標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品包括以下各種電光調(diào)Q的InnoSlab激光器，使用不同的激活介質(zhì), 具有不同的脈沖能量、輸出功率和波長:
· 光束質(zhì)量: M² < 2
· 脈沖能量可達(dá)到 60mJ
· 脈寬可達(dá)到 4ns以下
· 峰值功率可達(dá)到 7MW
· 脈沖重復(fù)頻率可到 150 kHz
· 平均功率可達(dá) 600W
· 波長 1064、 532、 355、266nm
高功率納秒激光器InnoSlab激光器和放大器的一個(gè)與眾不同的杰出特性在于其光束形狀可量身定制: 從圓形高斯模式到一維線狀平頂以及兩維方形平頂?shù)鹊取?/span>
應(yīng)用領(lǐng)域：
· 光伏行業(yè)，例如硅晶園的劃片、打孔和切割；薄膜太陽能電池和晶硅太陽能電池導(dǎo)電層和絕緣層的燒蝕
· 顯示領(lǐng)域，如導(dǎo)電層的織構(gòu)化和玻璃切割
· 玻璃工業(yè)，如微鉆孔和高速亞表面內(nèi)雕
· 電子工業(yè)，例如對印刷電路板的切割和鉆孔
· 工具制造和機(jī)械工程，如三維燒蝕快速成形
技術(shù)參數(shù)
型號 | BXxx-1 | BXxx-2 | BXxx-3 | BXxx-4 | ISxx-1 | ISxx-2 | ISxx-3 | ISxx-4 |
波長（nm） | IR | Green | UV | DUV | IR | Green | UV | DUV |
光束質(zhì)量M2 | 1.1 | 1.1 | 1.6 | 2 | 1.1 | 1.1 | 1.6 | 2 |
zui大平均功率（W） | 80 | 40 | 12 | 6 | 400 | 200 | 70 | 20 |
zui大重頻頻率（KHz） | 100 | 100 | 10 | 10 | 150 | 150 | 15 | 15 |
zui大單脈沖能量（mJ） | 7 | 3 | 1.5 | 1 | 60 | 30 | 15 | 4 |
zui小脈寬（ns） | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
能量穩(wěn)定性（%）rms | 1 | 2 | 3 | 3 | 1 | 2 | 3 | 4 |
偏振比 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
光斑橢圓度（遠(yuǎn)場）[%] | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 |
光斑直徑（mm） | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 |
發(fā)散角（全角，μrad） | 500 | 250 | 241 | 226 | 500 | 250 | 250 | 225 |
預(yù)熱時(shí)間（min） | 15 | 20 | 30 | 30 | 15 | 20 | 30 | 30 |
